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石墨热场的特性如下一.单晶硅石墨热场,是一个及物理,化学,几何综合理论为一体,特地研讨人员经过多年重复考证。多年经历总结制定。 二.热场采用细构造中粗石墨做炉底护盘,保温罩,上下盖。采用进口等静压石墨做加热器,坩埚,导流筒,托杆,锅托等,保证了石墨坩埚的强度及纯度。 三.热场是单晶硅成晶的重要条件之一,热场的梯度散布直接影响着能不能拉出单晶,以及拉制单晶的质量好坏,其材质好坏直接影响热场寿命。 |
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石墨热场的特性如下一.单晶硅石墨热场,是一个及物理,化学,几何综合理论为一体,特地研讨人员经过多年重复考证。多年经历总结制定。 二.热场采用细构造中粗石墨做炉底护盘,保温罩,上下盖。采用进口等静压石墨做加热器,坩埚,导流筒,托杆,锅托等,保证了石墨坩埚的强度及纯度。 三.热场是单晶硅成晶的重要条件之一,热场的梯度散布直接影响着能不能拉出单晶,以及拉制单晶的质量好坏,其材质好坏直接影响热场寿命。 |