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石墨热场的作用


石墨热场系统的作用是指为了凝结硅料,并使单晶生长坚持在一定温度下中止的整个系统。


石墨热场普通包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了维护板、维护套。


单晶炉石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。常见的是18寸、22寸和24寸的石墨热场。一种盛行的石墨热场行业标准设计设计方案是采用石墨材料制造热场隔热部件。标准的石墨保温材料由板状或者多层毯状石墨化碳纤维材料组成,在靠近热场中心的内表面常常需求加覆一层石墨纸或碳碳复合材料薄板用来进步热反射率和防止高压气流的冲刷。


由于等静压石墨热场材料本身所具有的多孔性和可渗透性,各层隔热材料之间不需求预留额外的空间。石墨材料具有优秀的隔热性能,本钱通常较金属屏低,而且非常易于运用。就制构成本,耐用性和可维护性而言,石墨隔热软毡较石墨隔热硬毡具有一定的优势。经过消费理论,金属隔热屏常常不适于环境恶劣的真空钎焊工艺。



石墨热场厂家用石墨材料制造石墨热场的隔热部件,理论证明,固然在钎焊工艺中会有很多焊料堆积在石墨隔热材料的表面,但是却不会发作熔解的焊料与石墨隔热材料的熔合现象。固然有人会质疑,以为石墨材料比金属材料更容易吸收水分,水分对钎焊工艺过程危害很大,但是,理论证明热场循环往复的升温与降温会很好地扫除石墨隔热材料中的水分。


石墨热场的特性如下:


一.单晶硅石墨热场,是一个及物理,化学,几何综合理论为一体,特地研讨人员经过多年反复考证。多年阅历总结制定。


二.热场采用细结构中粗石墨做炉底护盘,保温罩,上下盖。采用进口等静压石墨做加热器,坩埚,导流筒,托杆,锅托等,保证了石墨坩埚的强度及纯度。


三.热场是单晶硅成晶的重要条件之一,热场的梯度分布直接影响着能不能拉出单晶,以及拉制单晶的质量好坏,其材质好坏直接影响热场寿命。

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